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- 作者： 李明逵 (著)
- 學科分類： 應用科學類
- 書籍分類： 工程技術
- 出版社： 全華圖書股份有限公司
- 出版地：臺灣
- 出版日期：2007
- 語文：繁體中文
- ISBN/識別號：9789572143551
矽元件與積體電路製程
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書籍內容
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- 目錄
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第0章 半導體與積體電路之發展史 - 第1章 半導體物理與材料（一）
- 第2章 半導體物理與材料（二）
- 第3章 積體電路(Ⅰ)：半導體元件
- 第4章 積體電路(Ⅱ)：製程、電路與佈局
- 第5章 矽晶圓之製作(一)
- 第6章 矽晶圓之製作(二)
- 第7章 矽磊晶的成長(一)
- 第8章 矽磊晶的成長(二)
- 第9章 氧化製程(一)
- 第10章 氧化製程(二)
- 第11章 摻雜質之擴散植入(一)
- 第12章 摻雜質之離子植入(二)
- 第13章 微影蝕刻術(一)
- 第14章 微影蝕刻術(二)
- 第15章 化學氣相沉積
- 第16章 金屬接觸與蒸著
- 第17章 製程潔淨控制與安全(一)
- 第18章 製程潔淨控制與安全(二)
- 第19章 半導體元件之縮小化
- 第20章 積體電路封裝
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