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- 作者: 許明哲 (著)
- 學科分類: 應用科學類
- 書籍分類: 工程技術 ; 電機資訊學院
- 出版社: 五南圖書出版股份有限公司
- 出版地:臺灣
- 出版日期:2020/03/01
- 語文:繁體中文
- ISBN/識別號:9789577638809
先進微電子3D-IC構裝
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書籍內容
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在構裝技術尚未完全進入3D TSV量產之前,FOWLP為目前最具發展潛力的新興技術。此技術起源於英飛凌(Infineon)在2001年所提出之嵌入式晶片扇出專利,後續於2006年發表技術文件後,環氧樹脂化合物(EMC)之嵌入式晶片,也稱作扇出型晶圓級構裝(FOWLP),先後被應用於各種元件上,例如:基頻(Baseband)、射頻(RF)收發器和電源管理IC(PMIC)等。其中著名公司包括英飛凌、英特爾(Intel)、Marvell、展訊(Spreadtrum)、三星(Samsung)、LG、華為(Huawei)、摩托羅拉(Motorola)和諾基亞(Nokia)等,許多半導體外包構裝測試服務(OSATS)和代工廠(Foundry),亦開發自己的嵌入式FOWLP,預測在未來幾年,FOWLP市場將有爆炸性之成長。有鑑於此,第三版特別新增第13章扇出型晶圓級(Fan-out WLP)構裝之基本製程與發展概況、第14章嵌入式扇出型晶圓級或面板級構裝(Embedded Fan-out WLP/PLP)技術,以及第15章 3D-IC導線連接技術之發展狀況。在最新第四版特別增加:第16章扇出型面版級封裝技術的演進,第17章3D-IC異質整合構裝技術。
本書適合於有志從事半導體製程研發、生產和應用之工程技術人員,以及產品推廣與技術行銷人員閱讀,也可作為電子、電機、光電、材枓、化工、機械、應用物理及應用化學等相關系所學習之參考用書。
- 目錄
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推薦序一
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推薦序二
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致謝
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序文
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第一章 微電子構裝技術概論
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第二章 覆晶構裝技術
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第三章 覆晶構裝之UBM結構及蝕刻技術
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第四章 微電子系統整合技術之演進
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第五章 3D-IC技術之發展趨勢
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第六章 TSV製程技術整合分析
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第七章 3D-IC製程之晶圓銅接合應用
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第八章 TSV銅電鍍製程與設備之技術整合分析
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第九章 無電鍍鎳金在先進構裝技術上之發展
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第十章 環保性無電鍍金技術於電子產業上之發展
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第十一章 無電鍍鈀(Electroless Plating Palladium)技術
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第十二章 3D-IC晶圓接合技術
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第十三章 扇出型晶圓級構裝(Fan-out WLP)之基本製程與發展方向
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第十四章 嵌入式扇出型晶圓級或面版級構裝技術
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第十五章 3D-IC導線連接技術之發展狀況
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第十六章 扇出型面版級構裝技術的演進
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第十七章 3D-IC異質整合構裝技術
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索引
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